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集成電路電子級超純水系統(tǒng)ICM-E -
產(chǎn)品簡介
系統(tǒng)概述
駭思HyperPureX ICM-E系列集成電路電子級超純水系統(tǒng)以嚴謹?shù)暮弦?guī)性指導(dǎo)系統(tǒng)的設(shè)計、制造、安裝和驗證的全過程，以模塊化的設(shè)計集成了多介質(zhì)過濾、活性炭吸附、軟化、二級RO2nd、脫氣、EDI、超濾、紫外殺菌和TOC降解、樹脂超純化、以及終端微濾各純化單元，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓及液晶屏清洗、芯片等各種精密電子元器件的加工和制造。
水質(zhì)標準
GB/T 11446.1-2013、GB/T 33087-2016、ASTM D1193-06等規(guī)定的水質(zhì)標準
工藝路徑
1. 預(yù)處理系統(tǒng)+二級反滲透RO2nd系統(tǒng)+脫氣系統(tǒng)+EDI系統(tǒng)+超純化系統(tǒng)+儲存分配系統(tǒng)
性能特點
10“彩色觸控屏及 PLC控制模塊且具有物聯(lián)網(wǎng)（IOT）和云平臺功能的全自動控制系統(tǒng)；
模塊化設(shè)計理念，結(jié)構(gòu)緊湊，便于操作及后期維護；整套設(shè)備可以完全排空設(shè)計；可根據(jù)客戶原水水質(zhì)優(yōu)化調(diào)整工藝路線；系統(tǒng)內(nèi)部部分濃水可回收，可提高系統(tǒng)回收率至80%以上；確保過程檢驗、質(zhì)量監(jiān)控、驗證文件符合用戶需求；應(yīng)用范圍液晶面板制作、半導(dǎo)體晶圓、芯片等各種精密電子元器件行業(yè)的加工和制造